供应测振仪/显微激光测振仪MLV-100/激光测震仪

显微激光测振仪MLV-100 
 简介
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米级别，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。

 

主要特点
●更高的空间分辨率
●对各种振动进行非接触测量
●多功能和精确的算法提供所有有用信息
●动态测量范围广 >90db
●设计紧凑、结构牢固
●使用红色激光，安全可见
●完整的解决方案：包含了光学、信号处理、软件以及数据采集
●便携，可固定于三角架
 

应用领域
●MEMS器件（微机电系统）的振动特性
●连续的频域振动特性
●MEMS的故障分析以及可靠性测试
●MEMS运动特性分析

参数

   
 
振 动 仪 
点直径 大约10微米 * 
频率响应范围 1Hz-100KHz,50KHz-1.5MHz * 
测量速度范围 平面外 50mm/秒，500mm/秒，3m/秒 
平面内 150mm/秒，1500mm/秒，9m/秒 
低通滤波器 500Hz，2KHz，20KHz，100KHz，1.5MHz 

*可以定制方案
显 微 镜 
目镜 放大倍数 W.D. 光束直径 
5X 34mm 30um 
10X 34mm 20um 
20X/50X 20mm/13mm 10um/2um 

样 品 展 示 
X-Y stage  
尺寸 100 x100mm 
移动范围 +/-10mm 
分辨率 0.01mm